50나노 간격 구현한 TSMC 2D 트랜지스터

입력 08. 12. 06:03토큰포스트

간단 요약출처 기사 요약

대만 TSMC(Taiwan Semiconductor Manufacturing Co.)와 ASML·아이멕(imec)이 300mm 웨이퍼에서 50nm 접촉 폴리 피치(CPP)의 2차원(2D) 소재 트랜지스터를 구현했다.
정상 작동한 트랜지스터 비율은 94%로 나타났다.
아이멕은 6월 15일 발표문에서 세 기관이 이황화몰리브덴(MoS2) n형 전계효과트랜지스터(nFET)와 이황화텅스텐(WS2)·이셀레늄화텅스텐(WSe2) p형 전계효과트랜지스터(pFET)를 300mm 웨이퍼에 통합했다고 밝혔다.